什么是蚀刻加工精密五金蚀刻的干式蚀刻技术?

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什么是蚀刻加工精密五金蚀刻的干式蚀刻技术?

 精细五金蚀刻中的干式蚀刻(又称为电浆蚀刻)是现在最常用的蚀刻方式,其以气体作为首要的蚀刻前言,并藉由电浆能量来驱动反响。在半导体的制程中,蚀刻被用来将某种原料自晶圆外表上移除。蚀刻加工
电浆对蚀刻制程有物理性与化学性两方面的影响。首要,电浆会将蚀刻气体分子分化,发生可以快速蚀去资料的高活性分子。此外,电浆也会把这些化学成份离子化,使其带有电荷。蚀刻加工
  晶圆系置于带负电的阴极之上,因而当带正电荷的离子被阴极招引并加快向阴极方向行进时,蚀刻加工会以笔直视点碰击到晶圆外表。芯片制造商即是运用此特性来取得绝佳的笔直蚀刻,蚀刻加工而后者也是精细五金蚀刻的干式蚀刻的重要人物。蚀刻加工
  基本上,随着所欲去除的原料与所运用的蚀刻化学物质之不同,蚀刻由下列两种形式单独或混会进行:
  1. 电浆内部所发生的活性反响离子与自由基在碰击晶圆外表后,将与某特定成份之外表原料起化学反响而使之气化。
蚀刻加工
如此即可将外表原料移出晶圆外表,并透过抽气动作将其排出。
  2. 电浆离子可因加快而具有满足的动能来扯断薄膜的化学键,进而将晶圆外表原料分子一个个的冲击或溅击出来。
蚀刻加工

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