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蚀刻加工的化学方程式

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 1.蚀刻加工时的首要化学反响 三氯化铁蚀刻液对铜箔的蚀刻加工是一个氧化-还原进程。在铜表面Fe3+使铜氧化成氯化亚铜。一起Fe3+被还原成Fe2+。 
FeCl3+Cu →FeCl2+CuCl  
CuCl具有还原性,可以和FeCl3进一步发作反响生成氯化铜。  
FeCl3+CuCl →FeCl2+CuCl2 
Cu2+具有氧化性,与铜发作氧化反响:  
CuCl2+Cu →2CuCl  
所以,FeCl3蚀刻液对Cu的蚀刻时靠Fe3+和Cu2+共同完成的。其间Fe3+的蚀刻速率快,蚀刻质量好;而Cu2+的蚀刻速率慢,蚀刻质量差。新配制的蚀刻液中只要Fe3+,所以蚀刻速率较快。但是跟着蚀刻反响的进行,Fe3+不断耗费,而Cu2+不断添加。当Fe3+耗费掉35%时,Cu2+已添加到相当大的浓度,这时Fe3+和Cu2+对Cu的蚀刻量几乎持平;当Fe3+耗费掉50%时,Cu2+的蚀刻效果由非必须位置而跃居首要位置,此刻蚀刻加工速率慢,即应思考蚀刻液的更新。  
在实践蚀刻加工中,表示蚀刻液的活度不是用Fe3+的耗费量来衡量,而是用蚀刻液中的含铜量(g/l)来衡量。由于在蚀刻铜的进程中,开始蚀刻加工时刻是相对安稳的。但是,跟着Fe3+的耗费,溶液中含铜量不断增长。当溶铜量到达60g/l时,蚀刻时刻就会延伸,当蚀刻液中的Fe3+耗费40%时,溶铜量到达82.40g/1时,蚀刻时刻便急剧上升,标明此刻的蚀刻液不能再持续运用,应思考蚀刻液的再生或更新。  
通常蚀刻加工很少剖析和测定蚀刻液中的含铜量,多以蚀刻加工时刻和蚀刻质量来断定蚀刻液的再生与更新。经历数据为,采用动态蚀刻,温度为50℃摆布,铜箔厚度为50μm,蚀刻加工时刻5分钟摆布最理想,8分钟摆布仍可运用,若超越10分钟,侧蚀严峻,蚀刻质量变差,应思考蚀刻液的再生或更新。 
蚀刻铜箔的一起,还伴有一些副反响,就是CuCl2和FeCl3的水解反响:
FeCl3+3H2O →Fe(OH)3↓+3HCl CuCl2+2H2O →Cu(OH)2↓+2HCl  
生成的氢氧化物很不安稳,受热后易分化:2Fe(OH3 →Fe2O3↓+3H2O  
Cu(OH)2 →CuO↓+H2O  
成果生成了赤色的氧化铁和黑色的氧化铜微粒,悬浮于蚀刻液中,对立蚀层有必定的损坏效果。

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