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酸性氯化铜蚀刻液

 酸性氯化铜蚀刻液
  1) 蚀刻加工机理: Cu+CuCl2→Cu2Cl2   Cu2Cl2+4Cl-→2(CuCl3)2-   2) 影响蚀刻加工速率的因素:影响蚀刻速率的主要因素是溶液中Cl-、Cu+、Cu2+的含量及蚀刻液的温度等.   a、蚀刻加工Cl-含量的影响:溶液中氯离子浓度与蚀刻速率有着亲近的联系,当盐酸浓度添加时,蚀刻时刻削减.在富含6N的HCl溶液中蚀刻加工时刻至少是在水溶液里的1/3,而且可以进步溶铜量.可是,盐酸浓度不行超越6N,高于6N盐酸的蒸发量大且对设备腐蚀,而且跟着酸浓度的添加,氯化铜的溶解度敏捷降低.   添加Cl-可以进步蚀刻速率的原因是:在氯化铜溶液中发生铜的蚀刻加工反响时,生成的Cu2Cl2不易溶于水,则在铜的外表构成一层氯化亚铜膜,这种膜可以阻止反响的进一步进行.过量的Cl-能与Cu2Cl2络合构成可溶性的络离子(CuCl3)2-,从铜外表上溶解下来,然后进步了蚀刻速率.   b、Cu+含量的影响:依据蚀刻反响机理,跟着铜的蚀刻就会构成一价铜离子.较微量的Cu+就会明显的降低蚀刻速率.所以在蚀刻操作中要坚持Cu+的含量在一个低的范围内.   c、Cu2+含量的影响:溶液中的Cu2+含量对蚀刻速率有必定的影响.通常情况下,溶液中Cu2+浓度低于2mol/L时,蚀刻速率较低;在2mol/L时速率较高.跟着蚀刻反响的不断进行,蚀刻液中铜的含量会逐步添加.当铜含量添加到必定浓度时,蚀刻加工速率就会降低.为了坚持蚀刻液具有稳定的蚀刻速率,有必要把溶液中的含铜量控制在必定的范围内.   d、温度对蚀刻加工速率的影响:跟着温度的添加,蚀刻速率加速,可是蚀刻加工温度也不宜过高,通常控制在45~55℃范围内.温度太高会引起HCl过多地蒸发,形成溶液组分比例失调.别的,假如蚀刻液温度过高,某些抗蚀层会被损坏.

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