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碱性氯化铜蚀刻液

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碱性氯化铜蚀刻液
  1) 蚀刻加工机理: CuCl2+4NH3→Cu(NH3)4Cl2   Cu(NH3)4Cl2+Cu→2Cu(NH3)2Cl   2) 影响蚀刻加工速率的要素:蚀刻液中的Cu2+浓度、pH值、氯化铵浓度以及蚀刻液的温度对蚀刻速率均有影响.   a、Cu2+离子浓度的影响:Cu2+是氧化剂,所以Cu2+的浓度是影响蚀刻加工速率的主要要素.研讨铜浓度与蚀刻速率的联系标明:在0~82g/L时,蚀刻时间长;在82~120g/L时,蚀刻速率较低,且溶液操控艰难;在135~165g/L时,蚀刻速率高且溶液稳定;在165~225g/L时,溶液不稳定,趋向于发生沉积.   b、溶液pH值的影响:蚀刻液的pH值应保持在8.0~8.8之间,当pH值降到8.0以下时,一方面对金属抗蚀层晦气;另一方面,蚀刻液中的铜不能被彻底络合成铜氨络离子,溶液要呈现沉积,并在槽底形成泥状沉积,这些泥状沉积能在加热器上结成硬皮,也许损坏加热器,还会阻塞泵和喷嘴,给蚀刻加工造成艰难.假如溶液pH值过高,蚀刻液中氨过饱和,游离氨释放到大气中,致使环境污染;一起,溶液的pH值增大也会增大侧蚀的程度,然后影响蚀刻的精度.   c、氯化铵含量的影响:经过蚀刻加工再生的化学反应能够看出:[Cu(NH3)2]+的再生需求有过量的NH3和NH4Cl存在,假如溶液中缺少NH4Cl,很多的[Cu(NH3)2]+得不到再生,蚀刻速率就会下降,致使失掉蚀刻才能.所以,氯化铵的含量对蚀刻速率影响很大.跟着蚀刻加工进行,要不断补加氯化铵.   d、温度的影响:蚀刻加工速率与温度有很大联系,蚀刻加工速率跟着温度的升高而加速.蚀刻液温度低于40℃,蚀刻加工速率很慢,而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量,影响蚀刻加工质量;温度高于60℃,蚀刻速率显着增大,但NH3的蒸发量也大大添加,致使污染环境并使蚀刻液中化学组分比例失调.故温度一般操控在45~55℃为宜.

 

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