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氯化铁蚀刻液

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氯化铁蚀刻液
  1) 蚀刻加工机理: FeCl3+Cu→FeCl2+CuCl   FeCl3+CuCl→FeCl2+CuCl2   CuCl2+Cu→2 CuCl   2) 影响蚀刻加工速率的因素:   a、Fe3+浓度的影响:Fe3+的浓度对蚀刻加工速率有很大的影响.蚀刻液中Fe3+浓度逐渐增加,对铜的蚀刻速率相应加快.当所含超越某一浓度时,因为溶液粘度增加,蚀刻速率反而有所下降.   b、蚀刻液温度的影响:蚀刻液温度越高,蚀刻加工速率越快,温度的挑选应以不损坏抗蚀层为准则,一般在40~50℃为宜.   c、盐酸增加量的影响:在蚀刻液中参加盐酸,可以按捺FeCl3水解,并可进步蚀刻加工速率,尤其是当溶铜量达到37.4g/L后,盐酸的作用更明显.可是盐酸的增加量要恰当,酸度太高,会致使液态光致抗蚀剂涂层的损坏.   d、蚀刻液的拌和:停止蚀刻的效率和质量都是很差的,原因是在蚀刻加工过程中在板面和溶液里会有沉积生成,而使溶液呈暗绿色,这些沉积会影响进一步的蚀刻.

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