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湿式蚀刻加工的优势

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 湿式蚀刻加工的特点低本钱、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比。但相对于干式蚀刻加工湿式蚀刻加工除了无法界说较细的线宽外,湿式蚀刻加工仍有以下的缺陷:1) 需花费较高本钱的反响溶液及去离子水;2) 蚀刻加工化学药品处理时人员所遭受的安全问题;3) 蚀刻加工光阻附着性问题;4) 气泡构成及化学蚀刻液无法彻底与晶圆外表触摸所造成的不彻底及不均匀的蚀刻;5) 废气及潜在的爆炸性。
  湿式蚀刻加工进程可分为三个进程:1) 化学蚀刻加工液分散至待蚀刻资料之外表;2) 蚀刻加工液与待蚀刻加工资料发作化学反响; 3) 反响后之产物从蚀刻资料之外表分散至溶液中,并随溶液排出(3)。三个进程中进行最慢者为速率控制进程,也就是说该进程的反响速率即为整个反响之速率。
  大部份的蚀刻加工进程包含了一个或多个化学反响进程,各种形状的反响都有可能发作,但蚀刻加工常遇到的反响是将待蚀刻层外表先予以氧化,再将此氧化层溶解,并随溶液排出,如此重复进行以达到蚀刻加工的作用。如蚀刻加工硅、铝时便是使用此种化学反响方法。

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